真空碳管燒結爐有什么作用呢？
發布日期：2019-12-12 瀏覽次數：2044
真空碳管燒結爐是指使粉末壓坯通過燒結獲得所需的物理、力學性能以及微觀結構的設備。燒結爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完成鋁背場及柵線燒結。為了保證粉末壓坯在燒結過程中的脫蠟（潤滑劑或成形劑）、還原、合金化、組織轉變等順利進行，燒結時需要對燒結溫度、保護氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進行的控制。 真空碳管燒結爐主要用于工業陶瓷、結構陶瓷、金屬陶瓷、硬質合金行業作為材料在氣氛和壓力條件下的燒結設備。系周期作業式電爐，它是以優質石墨作發熱體的高溫、高真空電阻爐，額定溫度為2000℃。在特殊需要的情況下，允許在保護氣氛中，短時間工作到2400℃-2500℃。可供金屬、難熔化合物及陶瓷材料等在真空或保護氣氛中加熱之用。
電爐為立式真空電阻爐，它由爐身、爐蓋、真空系統、電氣系統和水冷系統等部分所組成。爐身采用水冷夾層結構。爐蓋可以借彈簧力開啟。爐體上設有二個觀察窗，可以觀察工件加熱的碳管電阻爐情況。爐內裝有石墨電極，它是由相互絕緣的兩個半圓組成的石墨發熱體接觸的表面采用圓柱面結構。石墨發熱體在其縱向開了數條細縫，以增加電阻，并使發熱體可以一端通電，而另外一端在加熱時允許自由的膨脹。發熱體的周圍有多層石墨纖維隔熱屏裝置，其組裝在一起便于取出爐外。
真空系統是由擴散泵、機械泵以及真空閥等組成。真空的測量采用熱偶真空計和電離真空計。電氣系統由可控硅電壓調整器、低電壓變大電流變壓器和控制柜所組成。
